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UTW-1500勻膠顯影設(shè)備是一種結(jié)構(gòu)緊湊、產(chǎn)能較高的半導(dǎo)體生產(chǎn)前道設(shè)備，是半導(dǎo)體器件、集成電路制造的專用設(shè)備之一。該臺UTW-1500勻膠顯影設(shè)備具備全自動的的涂膠、顯影、烘干及冷卻等各項功能。