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UTW-1500
適用晶圓規格:2-6寸晶圓
最小線寬精度350nm
采用整體疊層布局,結構緊湊,易于維護
采用主流配件,減少宕機配件等待時間
改造性強,可進行定制化服務
產品介紹
?晶片尺寸:2- 6寸
?適配光刻機:ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC
?最小線寬尺寸:350nm
?WPH:≤150pcs
?uptime:≥95% (不含維護保養及配件等待時間)
?MTBF: ≥1000hrs
?客制化定制:根據客戶工藝需求進行配置選擇
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