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UTW-1500
適用晶圓規格：2-6寸晶圓
最小線寬精度350nm
采用整體疊層布局，結構緊湊，易于維護
采用主流配件，減少宕機配件等待時間
改造性強，可進行定制化服務
產品介紹
?晶片尺寸：2- 6寸
?適配光刻機：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC
?最小線寬尺寸：350nm
?WPH：≤150pcs
?uptime：≥95% (不含維護保養及配件等待時間)
?MTBF： ≥1000hrs
?客制化定制：根據客戶工藝需求進行配置選擇
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